该厂为84英寸晶圆出产线生活设施的超蒸馏水系统软件,定期生产含硅污水150吨。污水底虽无高价属,但硅含量高易积垢,且功率电阻率需提升18MΩ·cm就要造纸废水处置。原先处置鑫霖环保不可能够满足新公布的《智能工艺水破坏物摆放标准化》(GB39731-2020)独特摆放规定值。
废污水组成亮点
最主要弄脏物
:固体硅(200-300mg/L)、颗料硅(粒级0.1-1μm)
特俗特殊要求
:TOC<10μg/L,硼含氧量<5μg/L
地表水功能
:低电阻率(<50μS/cm)但硅单质社会形态简化
正确处理加工过程具体流程
自主创新通过"梯级膜分割+电去阴离子"搭配组合流程:
微滤预加工处理
:1μm陶瓷制品膜过滤大粒状硅,通量保护80LMH
阴阳离子置换硅橡胶
:D201大孔硅胶粘合剂抉择性树脂吸附硅酸大分子
一级RO操作系统
:独一段回收分类处理率60%,二段用到高脱硼膜构件
EDI电去阴离子
:瞬时电流密度单位2A/m²,持续时间洗去的残留物亚铁离子
紫外线消毒
:254nm太阳极为线摄入量40mJ/cm²
能力新亮点
开发管理专属阻硅剂(有机酸胺类符合物),减缓膜环保问题时间3倍
EDI版块改革创新流道设计的,硅清除率升降至99.8%
优酷云硅介绍仪(预估超范围0.1-500μg/L)控制正确控制
运营成效显著
经第三个方探测:
总硅从280mg/L降低0.05mg/L
硼含量从8μg/L调至0.3μg/L
设计回收利用率从原40%改善至68%
膜更換生长期提高至5年,年运转成本费消减35%