成都某半导体技术电源芯片制作厂,晶圆加工厂的过程中引发含硅、氟的特有污污废水 ,构思办理人数1200吨/日。污污废水 物质繁多,有納米级硅颗粒剂及氢氧化钠,传统意义办理工艺无法及格。
废水处理工艺的成分及从何而来
关键被废弃物
:溶液硅(100-500nm孔径)、氟阳离子(200-300mg/L)、异丙醇
起源工艺技术
:晶圆刻蚀废污水处理(45%)、CMP化学式机戒镜面抛光废污水处理(40%)、生产设备消毒水(15%)
补救工艺设备注意事项
创新技艺利用"化学物质结晶+重型膜溶合"技艺路线规划:
钙盐沉定
:加药氯化钙清理氟铁离子(产生CaF2乳浊液)
水解酸化池反应迟钝
:结合水解酸化池剂进行电解质溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm孔的直径膜挪用微细顆粒
反融于体统
:脱盐率>98%,再利用率75%
挥发心得
:浓水段体现氟化物零进行排放
决定性效果好
氟化物氧化还原电位:<8mg/L(底于部委一个规格10mg/L)
硅的含量:<5mg/L
水产品中水回用率:70%适用降温塔皮肤补水
危废处理减轻药量:蒸发掉残余物量较传统性流程极大减少60%