该晶圆造成厂应用于华北的地方,主要制作8屏幕尺寸半导体器件晶圆,单日废水处理方法摆放量上涨约800吨。伴随制作的过程 中便用很多氢氧化钠做好晶圆蚀刻,导致废水处理方法中氟化物氨水浓度自由高达200-300mg/L,远超各国摆放准则(10mg/L下)。
废水处理材料及由来
废液关键基三大各个环节:
晶圆蚀刻工艺
:含高氧浓度氟化物(HF)、硝酸银及少量的天价属
物理机械设备抛光剂(CMP)废污水
:含nm级硅颗粒剂、生产络合剂
仪器家电清洗废水处理
:含异丙醇、挥发酚等巧妙物
解决艺标准流程
选取"物理化学石雕文化沉淀自己+混疑石雕文化沉淀自己+程度过滤系統"三級进行处理系統:
特一级清理
:加药氯化钙和氢氧化物钙,确立氟化钙水解,氟化物消除率达85%
两级操作
:加PAC(汇聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),清理氢氧化铁态空气挥发性有机物
三级考试处置
:利用多材质油烟净化器器和几丁质酶炭树脂吸附,冒水氟化物氧浓度稳固在8mg/L以内
核心装备包扩:pH主动上下调整平台、斜管析出池、板框板框压滤机(污水脱水器)。
不可能效果好
建设项目行驶3年监测器数据信息屏幕上显示:
氟化物年均浓度值:7.2mg/L(高出国度准则)
COD剔除率:92%
飞灰水分含量率:≤65%
年利用率氟化钙副车辆约150吨,进行资源性化利用率