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电子半导体废水怎么处理|电子半导体废水如何处理

该晶圆造成厂应用于华北的地方,主要制作8屏幕尺寸半导体器件晶圆,单日废水处理方法摆放量上涨约800吨。伴随制作的过程 中便用很多氢氧化钠做好晶圆蚀刻,导致废水处理方法中氟化物氨水浓度自由高达200-300mg/L,远超各国摆放准则(10mg/L下)。 废水处理材料及由来 废液关键基三大各个环节: 晶圆蚀刻工艺 :含高氧浓度氟化物(HF)、硝酸银及少量的天价属 物理机械设备抛光剂(CMP)废污水 :含nm级硅颗粒剂、生产络合剂 仪器家电清洗废水处理 :含异丙醇、挥发酚等巧妙物 解决艺标准流程 选取"物理化学石雕文化沉淀自己+混疑石雕文化沉淀自己+程度过滤系統"三級进行处理系統: 特一级清理 :加药氯化钙和氢氧化物钙,确立氟化钙水解,氟化物消除率达85% 两级操作 :加PAC(汇聚氯化铝)和PAM(高密度聚乙烯酰胺),清理氢氧化铁态空气挥发性有机物 三级考试处置 :利用多材质油烟净化器器和几丁质酶炭树脂吸附,冒水氟化物氧浓度稳固在8mg/L以内 核心装备包扩:pH主动上下调整平台、斜管析出池、板框板框压滤机(污水脱水器)。 不可能效果好 建设项目行驶3年监测器数据信息屏幕上显示: 氟化物年均浓度值:7.2mg/L(高出国度准则) COD剔除率:92% 飞灰水分含量率:≤65% 年利用率氟化钙副车辆约150吨,进行资源性化利用率

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